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紫外臭氧清洗機(jī)（UVO），是一種簡單，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。
紫外臭氧清洗機(jī)（UVOzone Cleaner, UVO），是一種簡單，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）表面上的有機(jī)污染物。
CIF臭氧中和器（UVO-N）是紫外臭氧清洗機(jī)配套的臭氧去除設(shè)備。主要是通過納米級金屬氧化物催化劑分解臭氧，以及利用臭氧的不穩(wěn)定性加速臭氧快速流動從而達(dá)到快速去除臭氧的目的。
紫外臭氧清洗機(jī)（UVOzone Cleaner, UVO），是一種簡單，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）表面上的有機(jī)污染物。
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